Prozessanalytik:

• Mikrobereichs- und Oberflächenanalyse (XPS, AES, TOF-SIMS)
• Bestimmung von Materialparametern (elektrische, mechanische, thermische, optische Eigenschaften)
• Optische Messverfahren für die Mikrotechnik (z.B. Weißlicht-Interferometrie, Laser-Scanning-Mikroskopie)
• Bildverarbeitungssysteme zur Qualitätssicherung

Funktions- und Zuverlässigkeitstests:

• Prüfung der Aufbau- und Montagetechnik (z.B. Pull- und Schertests)
• Messtechnische Charakterisierung (z.B. Mikrowellenmesstechnik, bis 110 GHz)
• Untersuchungen zur Zuverlässigkeit und Langzeitstabilität
• Entwicklung von Prüf- und Kalibrierverfahren

Schadensanalytik:

• Ausfallanalyse für Mikrosysteme und -komponenten
• Schadensanalyse und Gutachten im Bereich der Oberflächentechnik