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Systementwurf:

  • Entwurf hybrider MEMS- und MOEMS- Baugruppen (z.B. Match-X Design)
  • Maskenentwurf ür Lithographieverfahren
  • elektrisches Schaltungsdesign (DC ... 80 GHz)

VR - Anwendungen:

  • Entwicklung und Anpassung haptischer Interaktionsschnittstellen
  • VR-Applikationen für die Mikromontagetechnik
  • Anwendung der VR-Technik im medizinisch-biologischen Bereich
  • (z.B. bei der minimal-invasiven Chirurgie)

Simulation:

  • Simulation von Aufbautechnologien
  • Elektromagnetische Feldsimulation
  • FEM-Simulation von Fertigungsprozessen
 
   
© 2012 Zentrum für Mikrosystemtechnik Berlin
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