Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
im Forschungsverbund Berlin www.fbh-berlin.de
Fraunhofer IPK -
Institut für Produktionsanlagen und Konstruktionstechnik www.ipk.fhg.de
Fraunhofer IZM - Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration www.izm.fhg.de
Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB) Elektronenspeicherring BESSY II Institut für Nanometeroptik und Technologie www.azm.bessy.de
Technische Universität Berlin
- Institut für Werkzeugmaschinen und Fabrikbetrieb, Fachgebiet Mikro- und Feingeräte www.mfg.tu-berlin.de