Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik
im Forschungsverbund Berlin www.fbh-berlin.de
Fraunhofer IPK -
Institut für Produktionsanlagen und Konstruktionstechnik Technische Universität Berlin -
Institut für Werkzeugmaschinen und Fabrikbetrieb Produktionstechnisches Zentrum Berlin www.ipk.fhg.de
Fraunhofer IZM - Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration www.izm.fhg.de
Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB) Elektronenspeicherring BESSY II Mikro- und nanostrukturierte optische Systeme www.azm.bessy.de
Technische Universität Berlin
- Institut für Konstruktion, Mikro- und Medizintechnik Fachgebiete Mikrotechnik, Mikro- und Feingeräte www.fmt.tu-berlin.de www.mfg.tu-berlin.de
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